MPR1000是一種增強(qiáng)型聚酰胺酰亞胺（PAI）材料，可作為零件的“保護(hù)層”，對一般的氧氣清洗侵蝕防護(hù)會比常用的聚酰亞胺（PI）更加持久。同時，其還兼具陶瓷的穩(wěn)定性與聚合物的延展性。

增強(qiáng)型PAI型材

低離子含量和低滲氣性

良好的耐熱性

等離子腔體內(nèi)侵蝕速率較低

理想的抗碎性、耐久性和機(jī)械加工性

定制用于高要求腔體內(nèi)應(yīng)用（蝕刻、CVD 和離子注入等應(yīng)用）

使用壽命比傳統(tǒng)材料長，例如在某些情況下，其在臭氧中的使用壽命比PI高25倍以上

為滿足真空蝕刻腔所需的強(qiáng)度和純度標(biāo)準(zhǔn)，同時可承受高強(qiáng)度氧氣清洗過程，優(yōu)化正常運(yùn)行時間。憑借深厚的行業(yè)知識和前瞻性方法，根據(jù)其規(guī)范對材料進(jìn)行了改進(jìn)，以創(chuàng)新性新型聚酰胺酰亞胺（PAI）材料來替代聚酰亞胺（PI）材料，同時積極對材料的實(shí)際應(yīng)用性能進(jìn)行貝塔測試，成功滿足客戶需求。